高速多层式溅镀设备

Single-Wafer, Multi-Layer Sputtering Equipment

高速多层式溅镀设备
(BM-1000/1400)

高速多层式溅镀设备

是实现省空间·低运行成本·高生产率的溅射装置。

应用例

  • 汽车镜子(光催化剂)
  • 电子元件
  • 加装饰成膜
  • 光学膜(AR膜,增反射膜,ITO膜)

特长

  • 枚叶式加载方式溅射装置
  • 到实体尺寸MAX 8英寸对应可能
  • 到最大7工艺室安可能
    (BM-1000:5室,BM-1400:7室)
  • 逆溅镀机构采用本最热门的网赌网址大全独自的连轴方式,低损坏实现
  • 加热机构取付可能

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