高速单片式溅镀设备

High-Speed, Single-Wafer Sputtering Equipment

高速单片式溅镀设备
(BM-700/600)

洗浄装置

反射膜+保护膜等比以往实现更高的附加价值。
是适合立体物成膜的自动化线对应可以的高速枚叶式溅射装置。

应用例

  • 汽车包装品
  • 标志,小型灯反射器等,反光镜等
  • 汽车内部装饰品
  • 仪表环,开关类等

特长

特殊P-gun構造
  • 立体物对应∶立体物侧面膜附着提高
  • 层积可能最大2种材料
  • 使用专用holder实现少量多品种
  • 缩短生产进度,缩短时间
  • 为搬送系采用pick&place机构,与自动化线的对接容易
  • 毫米波雷达用电波透过膜(不连续膜)的成膜是可能
  BM-700 BM-600
为立体产品适用 镜子,为平板产品适用
不连续膜用 装饰颜色用 装饰颜色用
In、Sn等 Al、Cr等 Al、Cr等
溅镀源 ?150mm max.2个 ?300mm 1个
投入Max.尺寸 ?270×t70mm ?300×t70mm ?250×t14mm
※薄膜厚度分布保障另外。
周期 60秒/分批 16秒/分批 8秒/分批

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